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供应半导体用高纯石英管

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石英管尺寸公差 Dimensional Tolerance(table Ⅱ) 

外径范围

Range of OD  外径

OD  壁 厚

WT  偏壁度

Siding  椭圆度 

Ellipsticity 弯曲度

Camber/1220mm  

≤5mm ±2.0%  ±10% 12% 2.0% 2.5mm 

6.00-15.00mm  ±1.25%  ±8% 10%  1.5% 2.5mm 

15.00-20.00mm ±1.25% ±10% 15% 1.5% 2.5mm 

20.00-25.00mm  ±1.25%  ±10% 15% 1.5% 3.0mm 

25.00-30.00mm ±1.35% ±12% 15% 1.5% 3.0mm 

30.00-80.00mm ±1.5% ±14% 15%  2.0% 3.0mm

 
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